특징
- 축의 움직임을 분리하고 수직 방향에서
XY측정스테이지를 안정시켜, 높은 측정
정도를 달성
- 스크린 헤드 자체를 상하로 이동시켜 초점을
맞출 수 있다.
- 새로운 투과 조명 광학계의 사용으로 반사
조명의 스크린 이미지가 더 밝고 선명해졌습
니다.
공통 사양
- 투영상 : 정립상
- 회전 스크린
* 유효 직경 : 306 mm
* 스크린 소재 : 미세 연마 유리
* 스크린 회전 : ±360°, 미세 이송 및
클램프
* 각도표시 : 디지털 카운터 (LED)
1’또는 0.01°(전환 가능)
범위 : ±370°
ABS/INC 모드 전환, 영점 설정
* 기준선 : 십자선
- 투영 렌즈 : 10x
옵션 : 5x, 20x, 50x, 100x
- 렌즈 부착 : 3마운트 부착된 터릿
- 배율 정도
* 윤곽 조명 : ±0.1% 이상
* 반사 조명 : ±0.15% 이상
- 최대 측정물 높이 : 105mm
- 윤곽 조명
* 광원 : 할로겐 전구 (24V, 150W)
* 광학 시스템 : 줌 텔레센트릭 시스템
* 기능 : 무단계 밝기 조정, 열 흡수 필터,
냉각 팬 내장
- 반사 조명
* 광원 : 할로겐 전구 (24V, 150W)
* 광학 시스템 : 줌 텔레센트릭 시스템
수직/경사 조명
* 기능 : 무단계 밝기 조정, 열 흡수 필터,
냉각 팬 내장
- 수동 포커스 또는 파워 드라이브
- 분해능 : 0.001mm
- 전원 공급 : 100 - 240V AC, 50/60Hz
- 무게 : 176kg - 212kg
모델 번호 | 1010B | 2010B | 2017B | 3017B |
XY스테이지 이동 범위 | 100x100 | 200x100 | 200x170 | 300x170 |
측정 방식 | 리니어 엔코더 | |||
퀵 릴리스 메커니즘 | X 및 Y축 | |||
XY 스테이지 테이블 상면 크기 | 300x240 | 350x280 | 410x342 | 510x342 |
XY스테이지 유효 영역 | 180x150 | 250x150 | 270x240 | 370x240 |
스위벨링 기능 | ±3° | <p class="바탕글">±5° | ||
최대 적재 용량 | 10kg | 20kg | ||
비고 | A타입 : 회전 스크린 포함 B타입 : 회전 스크린 및 파워 포커스 포함 OPTOEYE-200 엣지 센서 내장 |
단위 : mm
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